Electrostatic chuck device

WO2025204586 Art A1 2. Oktober 2025

Anmelder: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025204586
Aktenzeichen
EP25777626
Anmeldetag
4. März 2025
Veröffentlichung
2. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683H02N13/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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