Electrostatic chuck device, method for manufacturing base, and method for manufacturing electrostatic chuck device

WO2025205323 Art A1 2. Oktober 2025

Anmelder: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025205323
Aktenzeichen: EP25776517
Anmeldetag: 19. März 2025
Veröffentlichung: 2. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683C04B37/00H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

603 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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