Grinding performance determination device and grinding performance determination method

WO2025205763 Art A1 2. Oktober 2025

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025205763
Aktenzeichen
EP25775869
Anmeldetag
25. März 2025
Veröffentlichung
2. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
B24B49/18B23Q17/09B24B7/00B24B49/10B24B53/00G05B19/4155H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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