Vacuum evacuation device

WO2025206206 Art A1 2. Oktober 2025

Anmelder: EDWARDS JAPAN LIMITED, ADTEC PLASMA TECHNOLOGY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025206206
Aktenzeichen: EP25775279
Anmeldetag: 27. März 2025
Veröffentlichung: 2. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: F04D19/04H05H1/24

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: EDWARDS JAPAN LIMITED
ADTEC PLASMA TECHNOLOGY CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von