Semiconductor manufacturing device member and method for regenerating same

WO2025206257 Art A1 2. Oktober 2025

Anmelder: NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025206257
Aktenzeichen
EP25776287
Anmeldetag
28. März 2025
Veröffentlichung
2. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683C23C14/50C23C16/458H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NGK INSULATORS, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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