Precursor for forming low-dielectric constant silicon-containing thin film and method for forming low-dielectric constant silicon-containing thin film by using same

WO2025206883 Art A1 2. Oktober 2025

Anmelder: SK TRI CHEM CO., LTD., SK HYNIX INC. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025206883
Aktenzeichen
EP25775332
Anmeldetag
25. März 2025
Veröffentlichung
2. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C07F7/18C23C16/455C23C16/40C23C16/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SK TRI CHEM CO., LTD.
SK HYNIX INC.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 SK hynix

Südkoreanischer Halbleiterhersteller, der Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash für Computer, Server und mobile Geräte produziert.

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