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WO2025209815 Art A1 9. Oktober 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025209815
Aktenzeichen
EP25712920
Anmeldetag
14. März 2025
Veröffentlichung
9. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/147H01J37/26H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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