Method of wavefront correction in a semiconductor technology apparatus

WO2025209943 Art A1 9. Oktober 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025209943
Aktenzeichen: EP25716384
Anmeldetag: 28. März 2025
Veröffentlichung: 9. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01J9/00G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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