Selective passivation of silicon oxide containing films utilizing organoamino-alkoxysilanes

WO2025210255 Art A1 9. Oktober 2025

Anmelder: VERSUM MATERIALS US, LLC, MERCK PATENT GMBH 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025210255
Aktenzeichen: EP25717896
Anmeldetag: 4. April 2025
Veröffentlichung: 9. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3105H01L21/32H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: VERSUM MATERIALS US, LLC
MERCK PATENT GMBH
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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