Wafer inspection device and wafer inspection method

WO2025210813 Art A1 9. Oktober 2025

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025210813
Aktenzeichen: EP24934046
Anmeldetag: 4. April 2024
Veröffentlichung: 9. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/027H01L21/66H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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