Resist composition, method for forming resist pattern, compound, radical polymerization initiator, and polymer

WO2025211334 Art A1 9. Oktober 2025

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025211334
Aktenzeichen
EP25782041
Anmeldetag
31. März 2025
Veröffentlichung
9. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/039C08F4/04C08F8/12C08F12/22G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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