Energy detection assembly for an illumination system of a mask inspection system for use with euv illumination light

WO2025214717 Art A1 16. Oktober 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025214717
Aktenzeichen: EP25712916
Anmeldetag: 14. März 2025
Veröffentlichung: 16. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G01J1/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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