Optical amplifier for amplifying laser radiation, lithography system and method for amplifying laser radiation in an optical amplifier

WO2025215030 Art A1 16. Oktober 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURIN 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025215030
Aktenzeichen: EP25719971
Anmeldetag: 8. April 2025
Veröffentlichung: 16. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/00H01S3/034H01S3/03G01N21/94H01S3/036H01S3/07H01S3/223

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURIN
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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