Energy detection assembly for an illumination system of a mask inspection system for use with euv illumination light
WO2025215104
Art A1
16. Oktober 2025
Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025215104
- Aktenzeichen
- EP25719340
- Anmeldetag
- 9. April 2025
- Veröffentlichung
- 16. Oktober 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CARL ZEISS SMT GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.