Massenstromregelventil zur Inertgasversorgung eines Waferbehälters

WO2025215163 Art A1 16. Oktober 2025

Anmelder: FESTO SE&CO. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025215163
Aktenzeichen: EP25719976
Anmeldetag: 10. April 2025
Veröffentlichung: 16. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06G05D21/02G05D22/02G01F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FESTO SE&CO. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Festo

Deutsches Unternehmen mit Sitz in Esslingen am Neckar, Hersteller von Automatisierungstechnik, Pneumatik und Fabrikautomation.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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