Method and apparatus for generating a photonic element by simultaneously using two laser direct writing beams

WO2025215168 Art A1 16. Oktober 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH, CARL ZEISS SMS LTD. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025215168
Aktenzeichen: EP25719366
Anmeldetag: 10. April 2025
Veröffentlichung: 16. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B6/13B23K26/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: CARL ZEISS SMT GMBH
CARL ZEISS SMS LTD.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von