A valve module for a vacuum pumping and/or abatement apparatus

WO2025215344 Art A1 16. Oktober 2025

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025215344
Aktenzeichen: EP25718026
Anmeldetag: 7. April 2025
Veröffentlichung: 16. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: F04B37/14F04B39/10H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS LIMITED
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

612 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von