Contact Cleaning Units in Cmp Polisher

WO2025216871 Art A1 16. Oktober 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025216871
Aktenzeichen
EP25786791
Anmeldetag
25. März 2025
Veröffentlichung
16. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/67H01L21/677B24B37/34B24B37/04B24B37/27
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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