Metal-Containing Precursors

WO2025217227 Art A1 16. Oktober 2025

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025217227
Aktenzeichen
EP25786207
Anmeldetag
8. April 2025
Veröffentlichung
16. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C07F5/00C23C16/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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