Fully automatic wet etching system and machine for scientific research

WO2025218445 Art A1 23. Oktober 2025

Anmelder: THE HONG KONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025218445
Aktenzeichen
EP25789314
Anmeldetag
21. März 2025
Veröffentlichung
23. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/67H01L21/677H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
THE HONG KONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 The Hong Kong University of Science and Technology

The Hong Kong University of Science and Technology ist eine chinesische Universität mit breiter naturwissenschaftlicher und technischer Forschung. Das Patentportfolio verteilt sich auf Medizintechnik, organische Chemie und Halbleiterbauelemente, ergänzt um Farben, Messtechnik und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen von 2002 bis in die Gegenwart.

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