Metrology system with optical element(s) having surface structures

WO2025219001 Art A1 23. Oktober 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025219001
Aktenzeichen: EP25714081
Anmeldetag: 20. März 2025
Veröffentlichung: 23. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/00G01N21/956G02B1/11G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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