Optical measurement device and method of manufacturing same

WO2025219014 Art A1 23. Oktober 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025219014
Aktenzeichen: EP25715201
Anmeldetag: 24. März 2025
Veröffentlichung: 23. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/18C03C17/36C03C23/00C23C14/58C23C16/40G02B5/08G02B5/10G03F7/00H01J37/32H05H1/24

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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