Messvorrichtung zur Frequenzbasierten Positionsbestimmung einer Bewegbaren Komponente

WO2025219117 Art A1 23. Oktober 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025219117
Aktenzeichen: EP25720252
Anmeldetag: 4. April 2025
Veröffentlichung: 23. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02015G01B9/02055G01B11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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