Ansteuervorrichtung, Optisches System und Lithographieanlage

WO2025219175 Art A1 23. Oktober 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025219175
Aktenzeichen: EP25719314
Anmeldetag: 9. April 2025
Veröffentlichung: 23. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08G02B26/12G02B7/182H03F1/26H03F1/30G03F7/00H01J37/20G05B19/404

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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