Production method for sige substrate

WO2025220436 Art A1 23. Oktober 2025

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025220436
Aktenzeichen
EP25789656
Anmeldetag
24. März 2025
Veröffentlichung
23. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C23C16/42C30B25/18C30B29/52H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.180 Patente in unserer Datenbank

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