Epitaxial substrate, method for manufacturing same, and method for manufacturing vertical device substrate

WO2025220480 Art A1 23. Oktober 2025

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025220480
Aktenzeichen
EP25789699
Anmeldetag
31. März 2025
Veröffentlichung
23. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/38C30B25/18H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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