Epitaxial substrate, method for manufacturing same, and method for manufacturing vertical device substrate
WO2025220480
Art A1
23. Oktober 2025
Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025220480
- Aktenzeichen
- EP25789699
- Anmeldetag
- 31. März 2025
- Veröffentlichung
- 23. Oktober 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B29/38C30B25/18H01L21/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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