Vacuum exhaust system, vacuum pump cleaning method, and cleaning unit

WO2025220616 Art A1 23. Oktober 2025

Anmelder: EDWARDS JAPAN LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025220616
Aktenzeichen: EP25789471
Anmeldetag: 11. April 2025
Veröffentlichung: 23. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: F04B37/16B08B3/08F04C25/02H01L21/31H01L21/205H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS JAPAN LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von