Etching gas composition comprising hexafluorobenzene and plasma etching method using same

WO2025220858 Art A1 23. Oktober 2025

Anmelder: AJOU UNIVERSITY INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUN 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025220858
Aktenzeichen: EP25790518
Anmeldetag: 12. Februar 2025
Veröffentlichung: 23. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311C09K13/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AJOU UNIVERSITY INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUN
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Ajou University Industry-Academic Cooperation Foundation

Die Ajou University Industry-Academic Cooperation Foundation ist die Patentverwertungsstelle der südkoreanischen Ajou-Universität. Das Portfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Pharma/Biotechnologie, ergänzt durch Mess- und Softwaretechnik. Die Titel reichen von Motorüberspannungsschutz bis zur Bodenfeuchteschätzung mittels Mikrowellen.

567 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von