Illumination optics system and method of forming laser beam using the same

WO2025220933 Art A1 23. Oktober 2025

Anmelder: SEOUL NATIONAL UNIVERSITY R&DB FOUNDATION, EO TECHNICS CO., LTD 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025220933
Aktenzeichen
EP25790419
Anmeldetag
4. April 2025
Veröffentlichung
23. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G02B27/09G02B5/30G02B13/00H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SEOUL NATIONAL UNIVERSITY R&DB FOUNDATION
EO TECHNICS CO., LTD
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Seoul National University R&DB Foundation

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