Methods for forming staircase and blazed grating structures using nanoimprint lithography

WO2025221665 Art A1 23. Oktober 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025221665
Aktenzeichen: EP25790781
Anmeldetag: 14. April 2025
Veröffentlichung: 23. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/18G02B6/00G02B27/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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