Fluorine-containing tin-oxo cluster photoresist compound and use thereof in photoetching field

WO2025223337 Art A1 30. Oktober 2025

Anmelder: DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY, NINGBO INSTITUTE OF DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOG 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025223337
Aktenzeichen: EP25793775
Anmeldetag: 20. April 2025
Veröffentlichung: 30. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C07F7/22G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
NINGBO INSTITUTE OF DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOG
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Dalian University of Technology

Die Dalian University of Technology ist eine chinesische staatliche Universität mit breitem naturwissenschaftlich-technischem Forschungsprofil. Das Portfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Fertigungsverfahren und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2004 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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