Method for operating a mask inspection device, euv camera, mask inspection device and computer program product

WO2025223782 Art A1 30. Oktober 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025223782
Aktenzeichen: EP25715548
Anmeldetag: 27. März 2025
Veröffentlichung: 30. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G01N21/956H04N23/30H04N23/667H04N25/30H04N25/711

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik

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