Substrate processing method and substrate processing device

WO2025225265 Art A1 30. Oktober 2025

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025225265
Aktenzeichen: EP25794140
Anmeldetag: 27. März 2025
Veröffentlichung: 30. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B24B21/00B24B49/10B24B49/12H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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