Lift pins to facilitate uniformity, and related components, chamber kits, processing chambers, and methods

WO2025226373 Art A1 30. Oktober 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025226373
Aktenzeichen: EP25794613
Anmeldetag: 20. März 2025
Veröffentlichung: 30. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/687C30B25/12C30B25/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von