Combining deep learning model hidden layer output with specimen-specific input for defect classification or another semiconductor application

WO2025226447 Art A1 30. Oktober 2025

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025226447
Aktenzeichen
EP25794562
Anmeldetag
9. April 2025
Veröffentlichung
30. Oktober 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G06N3/08G06N3/04G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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