Method and system for conditioning a polishing pad

WO2025226793 Art A1 30. Oktober 2025

Anmelder: WOLFSPEED, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025226793
Aktenzeichen: EP25726499
Anmeldetag: 23. April 2025
Veröffentlichung: 30. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B24B53/017

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: WOLFSPEED, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Wolfspeed

Wolfspeed ist ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleitern auf Basis von Siliziumkarbid für Leistungselektronik und HF-Anwendungen. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente sowie Elektronik- und Fertigungstechnik.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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