Passivation of polysilicon material and selective deposition of dielectric material utilizing alkynes

WO2025226985 Art A1 30. Oktober 2025

Anmelder: VERSUM MATERIALS US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025226985
Aktenzeichen: EP25727611
Anmeldetag: 24. April 2025
Veröffentlichung: 30. Oktober 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/306H01L21/32H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: VERSUM MATERIALS US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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