Verfahren zum Temporären Verbinden eines Produktsubstrats und eines Trägersubstrats, Trägersubstrat, Produktsubstrat und Schichtsystem sowie deren Anordnung und eine Vorrichtung zum Durchführen eines Solchen Verfahrens

WO2025228530 Art A1 6. November 2025

Anmelder: EV GROUP E. THALLNER GMBH, IMEC VZW 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025228530
Aktenzeichen
EP24723830
Anmeldetag
2. Mai 2024
Veröffentlichung
6. November 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
EV GROUP E. THALLNER GMBH
IMEC VZW
Land
🇦🇹 Österreich
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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