Method for producing sige substrate and sige substrate

WO2025229832 Art A1 6. November 2025

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025229832
Aktenzeichen
EP25798084
Anmeldetag
4. April 2025
Veröffentlichung
6. November 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/20H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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