Systems and methods for ex-situ bakeout of differentially pumped vacuum chambers
WO2025230751
Art A1
6. November 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025230751
- Aktenzeichen
- EP25798415
- Anmeldetag
- 21. April 2025
- Veröffentlichung
- 6. November 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/18H01J37/28G01N23/2251H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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