Temperature control of substrate processing chamber plates using pwm to analog converters and proportional valves

WO2025230886 Art A1 6. November 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025230886
Aktenzeichen: EP25798456
Anmeldetag: 28. April 2025
Veröffentlichung: 6. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H03K7/08H03K5/156

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von