Solvent-based compositions and related methods for molybdenum etching

WO2025231134 Art A1 6. November 2025

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025231134
Aktenzeichen
EP25798550
Anmeldetag
30. April 2025
Veröffentlichung
6. November 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C23F1/26C23F11/12C23F11/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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