Semiconductor bonding substrate holding systems and methods

WO2025233066 Art A1 13. November 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025233066
Aktenzeichen: EP25716116
Anmeldetag: 3. April 2025
Veröffentlichung: 13. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G11C5/04H01L21/67H01L21/677H01L21/683H01L21/687H01L23/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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