Collector device, wafer inspection apparatus having a collector device

WO2025233082 Art A1 13. November 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025233082
Aktenzeichen: EP25719979
Anmeldetag: 10. April 2025
Veröffentlichung: 13. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B5/09G02B5/10G02B17/06G02B19/00G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von