Verfahren zur Bestimmung von Kristalldefekten in einem Werkstück aus Einkristallinem Silizium

WO2025233084 Art A1 13. November 2025

Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025233084
Aktenzeichen: EP25717975
Anmeldetag: 11. April 2025
Veröffentlichung: 13. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/3065C30B29/06G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SILTRONIC AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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