Semiconductor bonding alignment systems and methods

WO2025233088 Art A1 13. November 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025233088
Aktenzeichen
EP25718385
Anmeldetag
14. April 2025
Veröffentlichung
13. November 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G11C5/04H01L21/67H01L21/677H01L21/68H01L23/00H01L23/544
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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