Holding system for a charged particle microscope

WO2025233359 Art A1 13. November 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025233359
Aktenzeichen: EP25724621
Anmeldetag: 6. Mai 2025
Veröffentlichung: 13. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/26H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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