Verarbeitungssystem und Verarbeitungsverfahren

WO2025234057 Art A1 13. November 2025

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025234057
Aktenzeichen: EP24940723
Anmeldetag: 9. Mai 2024
Veröffentlichung: 13. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C02F1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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