Position detection method, position detection system, and exposure device

WO2025234192 Art A1 13. November 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025234192
Aktenzeichen: EP25809143
Anmeldetag: 20. Februar 2025
Veröffentlichung: 13. November 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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