Measurement condition dependent, multi-dimensional model of optical dispersion of semiconductor structures
WO2025235185
Art A1
13. November 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025235185
- Aktenzeichen
- EP25810097
- Anmeldetag
- 21. April 2025
- Veröffentlichung
- 13. November 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/21G01N21/31G01N21/88G01N21/95G01B11/02H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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